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產(chǎn)品中心
原材料及晶圓
高純氧化鎵原料
氧化鎵單晶襯底片
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晶體生長設備
EFG、VB、CZ、FZ法等晶體生長設備
溶液成長法單晶生長設備(TSSG法)
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桌上型精密切割機MPC-200e
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MIST-CVD外延設備
Mist-CVD氧化物薄膜沉積設備 M150A
高溫退火爐
高溫退火爐 PFS-4000
快速高溫退火設備
快速高低溫退火設備RTA(離子注入后活化激活)
背面處理設備
全自動晶片減薄設備SGM-9100
鍵合設備
高還原性低溫熱壓鍵合設備 FATB
高還原性低溫熱壓對準鍵合設備 MAFP
C2W低溫熱壓鍵合設備 SAFP
量測設備
晶片邊緣輪廓儀
非接觸測厚設備(用于晶片、電路板等產(chǎn)品)
飛行時間二次離子質譜儀 TOF-SIMS
多功能掃描X射線光電子能譜儀 XPS
配件及耗材
鉭罩(碳化硅晶體生長爐關鍵部件)
金剛石研磨液
拋光液
拋光布及拋光墊
研磨盤及拋光盤
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