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快速高溫退火設備RTA RSA-06
原廠品牌：
原廠介紹：
日本株式會社第一機電成立于1991年，總部位于日本東京都。第一機電經(jīng)過長年累積的經(jīng)驗，提供加熱相關(guān)的全部設備，包括工業(yè)爐，結(jié)晶育成設備，高頻電源，一般加熱四個領(lǐng)域。尤其是在結(jié)晶育成設備領(lǐng)域，由于可以提案的種類眾多（CZ，VB，CVD，EFG，RTA，TSSG，PVT，MSG等），在國內(nèi)外占有率卓然。特別是SiC晶體PVT，TSSG設備以及氧化鎵的EFG設備，都在業(yè)界里具有最高占有率。
產(chǎn)品圖片：
產(chǎn)品型號:
RSA-06
產(chǎn)品介紹：
- Ceramic， Metal Free的熱場設計
- 可以實現(xiàn)± 10℃以下（1500℃） 的面內(nèi)溫度分布。
- 急加熱急冷卻的設計， 即使單片對應整體速度也很快
- 反應爐和冷卻室是分開存在， 加熱部可以保持均一高溫。 （專利申請）
- 加熱部一直是高溫保持，綜合運轉(zhuǎn)成本會降低
- 本裝置為高真空對應（可以使用干泵+渦輪分子泵）
- 最高可以對應2000℃。
- 我們將通過充分利用仿真軟件來建議最佳的熱場
基本規(guī)格（SPEC）
有任何相關(guān)問題請聯(lián)系：022-28219577