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MIST-CVD氧化物薄膜沉積設(shè)備 M150A
產(chǎn)品圖片:
產(chǎn)品型號:
M150A
產(chǎn)品介紹:
MIST-CVD氧化物薄膜沉積設(shè)備M150A是一種新型氧化物成膜技術(shù),具有節(jié)能安全、易操作等優(yōu)點,可廣泛應用于第四代半導體Ga2O3,直接寬帶隙光電半導體材料 ZnO 等氧化物的薄膜沉積制造。
M150A 是青禾晶元開發(fā)的最新一代 mist-CVD 氧化物薄膜沉積設(shè)備,致力于將半導體材料的制備技術(shù)推向新的時代。
產(chǎn)品特性:
技術(shù)參數(shù):
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