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激活退火設(shè)備 Ailesic-1500

產(chǎn)品圖片：

產(chǎn)品型號(hào)：

 Ailesic-1500

產(chǎn)品介紹（Ailesic-1500）：

    • 1. Adapt to 1500℃Extra High Temp Processes
      -Rapid Heating: ～20℃/min (10℃/minover 1350℃)
      -Mass production Capability: ～50 wafers/batch
  •  
    • 2. Attain and Maintain Extra Low Metal Cont.
      -Extra High Purity All-CVD SiC Wares
      -Effective In-situ Cleaning System
  •  
    • 3. Extra Low Running Cost
      -Long life SiC wares
      -Long life Heater

 

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